多晶硅安全生產規范再次征求意見

中化新網訊 為強化多晶硅安全風險管控，促進多晶硅行業的整體安全水平提升，應急管理部組織制定了行業標準《多晶硅安全生產規范(再次征求意見稿)》（以下簡稱《規范》），并于1月20日起向社會公開征求意見。

據了解，生產多晶硅過程中涉及氯硅烷、硅烷、氯化氫、氯氣、氫氣等多種性質活潑的危險化學品，具有易燃、易爆、有毒及腐蝕特性。此外，高純硅粉、回收硅粉不僅具有粉塵爆燃風險，還會磨損設備管道，容易造成危險物料泄漏。近幾年來，多晶硅企業在生產運行環節和檢維修環節的事故多發頻發。

應急管理部相關負責人表示，現行標準對于多晶硅企業工藝設計、安全設施設計要求內容較少，尤其是多晶硅行業常見的防范氯硅烷、氯化氫、氯氣的腐蝕風險；防范硅粉的磨損風險；合成爐、反應器等生產工藝、設備參數的安全監控、異常情況下的緊急停車要求等。

上述負責人進一步指出，《規范》針對當前多晶硅生產采用的三氯氫硅還原法工藝和硅烷流化床法工藝，圍繞多晶硅行業安全風險隱患排查指南及專項檢查過程中暴露的問題，本著機械化換人、自動化減人、智能化無人的原則，注重從源頭提升本質安全水平，努力降低工藝操作安全風險。

 《規范》界定了采用三氯氫硅還原法和硅烷流化床法生產多晶硅的術語和定義，按照三氯氫硅還原法和硅烷流化床法不同工藝流程走向，從硅粉研磨、多晶硅生產、粗品后加工、儲存直到尾氣處理等逐個工序規定了企業從設計到生產、儲存、應急處置環節的安全風險管控要求，同時針對回收硅粉的風險特點，增加了回收硅粉的管理要求。

  《規范》強調，企業應建立防腐(磨)蝕、防泄漏管理制度，重點加強對氫氣、氯氣、硅粉、氯硅烷、硅烷的設備、儀表、管線的泄漏管理，確定檢測部位、檢測頻次和檢測方式。定期對涉及硅粉的管線、設備內壁和承插管磨損情況進行檢查，根據設備壁厚減薄情況評估防腐效果、核算設備剩余使用壽命。

根據三氯氫硅還原法和硅烷流化床法不同生產方式及涉及的關鍵裝置、重點部位特點，《規范》明確了各工序生產需要監控的工藝參數及報警系統設置，并對安全聯鎖系統的設置提出了詳細的要求；在應急充氮保護方面，提出了三氯氫硅合成爐、還原爐等設備需要配備應急充氮系統，并能實現遠程操作的要求；在氯硅烷及硅烷尾氣回收和處理方面，提出了事故緊急排放氣應設置應急噴淋系統，并與事故緊急排放氣管網壓力聯鎖的要求。

應急管理部相關負責人表示，考慮到現行的設計標準未能充分反映出多晶硅企業的安全生產特性且頒布時間較久，不能滿足對多晶硅行業高危細分領域的安全管理新要求等因素，建議《規范》按照強制性標準執行。